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發(fā)布時間：2018-09-05濺射機的功能原理
濺射機的基本原理是利用Ar一02混合氣體中的等離子體在電場和交變磁場的作用下，被加速的高能粒子轟擊靶材表面，能量交換后，靶材表面的原子脫離原晶格而逸出，轉(zhuǎn)移到基體表面而成膜。
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發(fā)布時間：2018-08-10濺射機的常見技術(shù)有哪些
一、反應(yīng)濺射，采用以純金屬作為濺射靶材，但在工作氣體中通入適量的活性氣體，使其在濺射淀積的同時生成特定的化合物，這種在淀積的同時形成化合物的濺射技術(shù)被稱為反應(yīng)濺射方法。
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