多弧鍍膜機(jī)的特點(diǎn)

　　多弧鍍膜機(jī)的突出特點(diǎn)在于它能產(chǎn)生由高度離化的被蒸發(fā)材料組成的等離子體，其中離子具有很高的動(dòng)能。蒸發(fā)、離化、加速都集中在陰極斑點(diǎn)及其附近很小的區(qū)域內(nèi)。那么關(guān)于我們的多弧鍍膜機(jī)的性能特點(diǎn)都有哪些呢?讓我們一起來學(xué)習(xí)下吧。

　　(1)入射粒子能量高，涂層的致密度高，強(qiáng)度和耐久性好。

　　(2)離化率高，一般可達(dá)60%～80%。

　　(3)一弧多用，電弧既是蒸發(fā)源和離化源，又是加熱源和離子濺射清洗的離子源。

　　(4)沉積速度快，繞鍍性好。

　　(5)最顯著的特點(diǎn)是從陰極直接產(chǎn)生等離子體。

　　(6)設(shè)備較為簡單，采用低電壓電源工作比較安全。

　　(7)多弧鍍膜機(jī)的外加磁場可以改善電弧放電，使電弧細(xì)碎，細(xì)化涂層微粒，增加帶電粒子的速率，并可以改善陰極靶面刻蝕的均勻性，提高靶材的利用率。