真空鍍鋁設(shè)備廠家介紹真空鍍膜技術(shù)中的熱點問題

　　真空鍍鋁設(shè)備蒸發(fā)沉積鍍膜和濺射沉積鍍膜，具體則包括很多種類，包括真空離子蒸發(fā)，磁控濺射，MBE分子束外延，溶膠凝膠法等等。

　　一、對于蒸發(fā)鍍膜：

　　一般是加熱靶材使表面組分以原子團或離子形式被蒸發(fā)出來。

　　厚度均勻性主要取決于：

　　1?；牧吓c靶材的晶格匹配程度

　　2、基片表面溫度

　　3. 蒸發(fā)功率，速率

　　4. 真空度

　　5. 鍍膜時間，厚度大小。

　　組分均勻性：

　　蒸發(fā)鍍膜組分均勻性不是很容易保證，具體可以調(diào)控的因素同上，但是由于原理所限，對于非單一組分鍍膜，蒸發(fā)鍍膜的組分均勻性不好。

　　晶向均勻性：

　　1。晶格匹配度

　　2。基片溫度

　　3。蒸發(fā)速率

　　濺射鍍膜又分為很多種，總體看，與蒸發(fā)鍍膜的不同點在于濺射速率將成為主要參數(shù)之一。

　　濺射鍍膜中的激光濺射鍍膜pld，組分均勻性容易保持，而原子尺度的厚度均勻性相對較差(因為是脈沖濺射)，晶向(外沿)生長的控制也比較一般。