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光學(xué)鍍膜機(jī)?電子槍安裝與維護(hù)

2017-11-20  來(lái)自: 肇慶高要區(qū)恒譽(yù)真空技術(shù)有限公司 瀏覽次數(shù):1474

  光學(xué)鍍膜機(jī)電子槍安裝與維護(hù):

  一、電子槍安裝與維護(hù)

  電子槍蒸發(fā)源控制系統(tǒng)是由電子槍燈絲電源、高壓電源、掃描電源、坩堝驅(qū)動(dòng)電源、蒸發(fā)源等組成一個(gè)電子槍控制電樞。

  電子槍控制電樞內(nèi)含有高壓,在工作前必須保證柜門(mén)各個(gè)聯(lián)鎖裝置正常工作,非專業(yè)人員不得打開(kāi)電樞門(mén),電子槍在工作時(shí)不得打開(kāi)電柜門(mén),整個(gè)電柜必須有良好的接地并與機(jī)臺(tái)接地連接。

  電子槍蒸發(fā)源安裝在真空室底板上,必須與底板有良好的接地效果,安裝蒸發(fā)源必須使用不銹鋼螺絲來(lái)固定,周邊200mm以內(nèi)不得有導(dǎo)磁的物體,否則會(huì)影響到電子槍的光斑成表,造成電子性能的不良。電子槍檔板應(yīng)盡量裝在蒸發(fā)源坩堝的中心上30mm處,以不影響電子束的發(fā)射為好。

  電子槍蒸發(fā)源是一個(gè)精密機(jī)械加工體,在工作時(shí)必須保證有良好的冷卻水,如過(guò)高的溫度會(huì)影響電子束的成型及各密封圈的性能。

  (一)電子槍頭

  電子槍的槍頭安裝好壞直接影響到工作的正常進(jìn)行,其發(fā)生的故障有90%同電子槍槍頭有關(guān)。

  電子槍槍頭有使用一段時(shí)間后,會(huì)因?yàn)榻M件的污染而影響電子束的成型及功率,需要拆卸清潔。

  (二)坩堝的維護(hù)

  拆坩堝之前,請(qǐng)先關(guān)掉水路用壓縮空氣把電子槍冷卻管內(nèi)的水分盡可能吹干凈。

  蒸發(fā)源裝卸順序:

  1.拆落兩條冷卻水連接管。2.擰出電子槍槍頭連接高壓線兩個(gè)螺絲。3.拆坩堝傳動(dòng)連接座、聯(lián)軸器。4.擰落蒸發(fā)源四個(gè)固定螺絲。5.把蒸發(fā)源搬運(yùn)到一個(gè)穩(wěn)定平整的工作臺(tái)。6.拆落坩堝蓋板四個(gè)螺絲,取下蓋板打磨干凈。7.檢查蓋板上面兩個(gè)密封圈是否需要更換。8.把蒸發(fā)源反轉(zhuǎn)過(guò)來(lái)倒置,用木板墊住坩堝部分。9.擰下固定坩堝轉(zhuǎn)動(dòng)四個(gè)螺絲10.抬起蒸發(fā)源,取下坩堝 11.把坩堝倒置,擰下坩堝底蓋的八個(gè)螺絲,清洗干凈里面的污垢,檢查是否需要近密封圈。12.擰下導(dǎo)水管的一個(gè)螺絲13.擰下坩堝轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)與坩堝蓋板連接的四個(gè)螺絲 14.撥出坩堝轉(zhuǎn)動(dòng)軸,檢查轉(zhuǎn)動(dòng)軸的油封是否需要換件 15.把坩堝清潔干凈安裝。安裝按上面的倒過(guò)順序來(lái)進(jìn)行。

  (三)導(dǎo)磁板及掃描圈的維護(hù)

  導(dǎo)磁板及永磁鐵是不需要經(jīng)常拆卸維護(hù),如需拆卸,請(qǐng)注意永磁鐵的極向,及導(dǎo)磁板的方向。線圈由于安裝的空間密實(shí),請(qǐng)不要使用硬尖的東西撬動(dòng),否則有可能會(huì)造成損壞。


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