淺析真空鍍膜機(jī)的原理

　　真空鍍膜機(jī)是目前制作真空條件應(yīng)用為廣泛的真空設(shè)備，一般用真空室、真空機(jī)組、電氣控制柜三大工作原理。

　　真空主題--真空腔根據(jù)加工產(chǎn)品要求的各異，真空腔的大小也不一樣，目前應(yīng)用多的有直徑0.9M、1.3M，1.5M、1.8M等，腔體由不銹鋼材料制作，要求不生銹、堅(jiān)實(shí)等，真空腔各部分有鏈接閥，用來鏈接各抽氣泵浦。

　　輔助抽氣系統(tǒng)：排氣系統(tǒng)為鍍膜機(jī)真空系統(tǒng)的重要部分，主要有由機(jī)械泵、增壓泵(主要介紹羅茨泵)、油擴(kuò)散泵三大部分組成，此排氣系統(tǒng)采用“擴(kuò)散泵+機(jī)械泵+羅茨泵+低溫冷阱+polycold組成”。

　　排氣流程為：機(jī)械泵先將真空腔抽至2.0*10-2pa左右的低真空狀態(tài)，為擴(kuò)散泵后續(xù)抽真空提供前提，之后當(dāng)擴(kuò)散泵抽真空的時候，機(jī)械泵又配合油擴(kuò)散泵組成串聯(lián)，已這樣的方式完成抽氣動作。